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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제21권 제2호
발행연도
2004.2
수록면
186 - 194 (9page)

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Micro-stereolithography is a newly proposed technology as a means that can fabricate a 3D micro-structure of free form. It makes a 3D micro-structure by dividing the shape into many slices of relevant thickness along horizontal surfaces, hardening each layer of slice with a focused laser beam, and stacking them up to a desired shape. In this technology, differently from the conventional stereolithography, scale effect is dominant. To realize micro-stereo lithography technology, we developed the micro-stereolithography apparatus which is composed of an Ar+ laser, x-y-z stages. controllers, optical devices and scan path generation software. Related processes were developed, too. Using the system, a number of micro-structures were successfully fabricated. Some of these samples are shown for prove this system. Laser scan path generation algorithm and software considering photopolymer solidification phenomena as well as given 3D model were developed. Sample fabrication of developed software shows relatively high dimensional accuracy compared to the uncompensated result.
#micro-stereolithography(마이크로 광 조형) #photopolymer(광 경화성 수지) #UV laser(자외선 레이저) #Optical system(광학계) #x-y-z stage(x-y-z 스테이지) #3D micro-structure(3 차원 마이크로 구조물) #scan path(주사경로)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 마이크로 광 조형기술의 특징
3. 마이크로 광 조형 시스템의 개발
4. 실험을 통한 공정개발 및 시스템의 검증
5. 레이저 주사경로 생성
6. 결론
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