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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 추계학술대회 논문집
발행연도
2007.10
수록면
370 - 373 (4page)

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We developed a simple and cost-effective method of fabrication 3D micro-nano hybrid patterns. In the conventional fabrication methods of the micro-nano hybrid patterns, micro-patterns are fabricated firstly on a substrate, and then nano-patterns are formed on the micro-patterns using e-beam, hologram and nano-probe lithography. However, this methods were limited only to 2 dimensional patterns. In order to improve this dimensional limitation and process time, femtosecond laser and AAO process were used. Femtosecond laser with ultra-fast pulse speed and low thermal damage can be modified effectively a metal surface into another material. Also, AAO process can be easily fabricated nano patterns on Al surface. In this study, using the femtosecond laser as a tool of surface modification of Al thin film, several miro patterns with an amorphous layer on the Al thin film were fabricated with respect to laser intensity and scanning speed. Sequently, micro-nano hybrid patterns were fabricated by using a simple AAO process. Finally, we verified the validity of micro-nano hybrid patterns through SEM and EDS.
#Femtosecond laser #AAO(Anodic Aluminum Oxide) #Ablation #lung structure #3D micro-nano hybrid patterns(MNHP)

목차

Abstract
1. 서론
2. 마이크로-나노 하이브리드 패턴 제작
3. 결과
4. 결론
후기
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