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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Institute of Information Scientists and Engineers Journal of Electrical Engineering and Information Science Journal of Electrical Engineering and Information Science Vol.4 No.1
- 발행연도
- 1999.2
- 수록면
- 77 - 82 (6page)
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Thin films of indium oxide were coated uniformly on alumina and silicon substrates with different roughness by spin-coating from an aqueous acetic acid solution dissolving In(OH)₃and ammonium carboxymethyl cellulose. Morphologies of the films were observed by AFM and cross-sectional SEM view. Gas sensing properties including sensitivity, selectivity and the rates of response and recovery were strongly dependent on the kind of substrate and the surface roughness of substrate as well as film thickness and operating temperature. The effects of substrate on gas sensing properties of the spin-coated films were studied in particular for various kinds of substrates with different surface morphology.
목차
Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Preparation of In₂O₃ thin film and gas sensitivity measurement
Ⅲ. Results and Discussion
Ⅳ. Conclusions
References
저자소개
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