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저자정보
김선훈 (전남대학교 신소재공학부, 광ㆍ전자박막 연구실) 박신철 (전남대학교 신소재공학부, 광ㆍ전자박막 연구실) 김진혁 (전남대학교 신소재공학부, 광ㆍ전자박막 연구실) 문종하 (전남대학교 신소재공학부, 광ㆍ전자박막 연구실) 이병택 (전남대학교 신소재공학부, 광ㆍ전자박막 연구실)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제13권 제2호
발행연도
2003.1
수록면
111 - 114 (4page)

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Effects of substrate materials on the microstructure and the sensitivity of $SnO_2$thin film gas sensors have been studied. Various substrates were studied, such as oxidized silicon, sapphire, polished alumina, and unpolished alumina. It was observed that strong correlation exists between the electrical resistance and the CO gas sensitivity of the manufactured sensors and the surface roughness of $SnO_2$thin films, which in turn was related to the surface roughness of the original substrates. X$SnO_2$thin film gas sensor on unpolished alumina with the highest surface roughness showed the highest initial resistance and CO gas sensitivity. The transmission electron microscopy observation indicated that shape and size of the columnar microstructure of the thin films were not critically affected by the type of substrates.
#$SnO_2$sensor #substrate effects #surface roughness #CO gas sensitivity

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