플라스틱 기판의 Outgassing이 TCO 박막의 전기적 특성에 미치는 영향

김화민; 지승훈

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김화민 지승훈

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제22권 제11호

발행연도: 2009.1

수록면: 961 - 968 (8page)

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In this work, transparent conductive oxide(TCO) films such as In2O3-SnO2(ITO) and In2O3-ZnO(IZO) were prepared on polyethylene naphthalene(PEN) and glass substrates by using rf-magnetron sputtering system. The TCO films deposited on PEN substrate show very poor conductivity as compared to that of the TCO films deposited on glass substrates. From the results of the residual gas analysis(RGA) test, this poor stability of plastic substrate is presumed to be caused by the deteriorated adhesion between the TCO films and the plastic substrate due to outgassing from the plastic substrate during deposition of TCO films. From our experiment, it is found that the vaporization of some defects in the plastic substrates deteriorate the adhesion of the TCO films to the plastic substrate, because the most plastic substrates containing the water vapor and/or other adsorbed particles such as organic solvents. Mixing of these gases vaporized in the sputtering process will also affect the electrical property of the deposited TCO films. Inorganic thin composite (SiO2)40(ZnO)60 film as a gas barrier layer is coated on the PEN substrate to protecting the diffusion of vapors from the substrate, so that the TCO films with an improved quality can be obtained.

#Residual gas analyzer #Plastic substrate #Outgassing #TCO film #Electrical property #Rf-magnetron sputtering

참고문헌 (11)

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B. D. Vogt / 2005 / X-ray and neutron reflectivity measurements of moisture transport through model multilayered barrier films for oled applications / J. Appl. Phys 97 (11) :

H. M. Kim / 2003 / Electrical and optical properties of In2O3-ZnO films deposited on polyethylene terephthalate substrates by radio frequency magnetron sputtering / Jpn. J. A

Hwa-Min Kim / 2009 / Enhanced Properties of Transparent Conductive Oxide Films Prepared on PEN Substrates with a (SiO2)40(ZnO)60 Gas Barrier Layer / Journal of the Korean Phy

J. Li / 2008 / Indium tin oxide modified transparent nanotube thin films as effective anodes for flexible organic light-emitting diodes / Appl. Phys. Lett. 93 (8) : 083306 ~

J. M. Park / 2006 / Substrate Effects on the Characteristices of (In2O3)1-x (ZnO)x Films / Journal of the Korean Physical Society 48 (6) : 1624 ~ 1627

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김화민

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지승훈

소속기관 한국전기전자재료학회

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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