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백동천 (한국과학기술원) 박태상 (한국과학기술원) 이순복 (한국과학기술원) 이낙규 (생산기술연구원) 최태훈 (생산기술연구원) 나경환 (생산기술연구원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년 춘계학술대회논문집
발행연도
2003.4
수록면
1,321 - 1,325 (5page)

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Nickel thin film is one of the most important materials used in micromachined structure. To measure the mechanical properties of electropated nickel thin film, two techniques are adopted and compared quantitatively with. One is nano-indentation test to measure the elastic modulus. The other is tensile test to measure no only elastic modulus but also yield strength and plastic deformation, ultimate strength. To perform the tensile test, apparatus was constructed with linear guided servo motor for actuation, load cell for force measurement and dual microscope for strain measurement.

목차

Abstract

1. 서론

2. 시편 제작

3. 미소 압입 실험

4. 인장 실험기 구성 및 실험 결과

5. 결론

후기

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