Secondary resonances of a microresonator under AC-DC electrostatic and DC piezoelectric actuations

Zamanian, M.; Hosseini, S.A.A.

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자료유형: 학술저널

저자정보: Zamanian, M. (Faculty of Engineering, Kharazmi University) Hosseini, S.A.A. (Faculty of Engineering, Kharazmi University)

저널정보: 테크노프레스 Structural engineering and mechanics : An international journal Structural engineering and mechanics : An international journal 제42권 제5호

발행연도: 2012.1

수록면: 677 - 699 (23page)

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This article studies the secondary resonances of a clamped-clamped microresonator under combined electrostatic and piezoelectric actuations. The electrostatic actuation is induced by applying the AC-DC voltage between the microbeam and the electrode plate that lies at the opposite side of the microbeam. The piezoelectric actuation is induced by applying the DC voltage between upper and lower sides of piezoelectric layer. It is assumed that the neutral axis of bending is stretched when the microbeam is deflected. The drift effect of piezoelectric layer (the phenomenon where there is a slow increase of the free strain after the application of a DC field) is neglected. The equations of motion are solved by using the multiple scale perturbation method. The system possesses a subharmonic resonance of order one-half and a superharmonic resonance of order two. It is shown that using the DC piezoelectric actuation, the sensitivity of AC-DC electrostatically actuated microresonator under subharmonic and superharmonic resonances may be tuned. In addition, it is shown that the tuning domain of the microbeam under combined electrostatic and piezoelectric actuations at subharmonic and superharmonic conditions is larger than the tuning domain of microbeam under only the electrostatic actuation.

#microresonator #electrostatic actuation #piezoelectric actuation #perturbation method #superharmonic resonance #subharmonic resonance

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이 논문의 저자 정보

Zamanian, M.

소속기관 Department of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering, Kharazmi University

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 토목공학

논문수 4 이용수 3

Hosseini, S.A.A.

소속기관 Faculty of Engineering, Kharazmi University

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 토목공학

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