텅스텐 할로겐 램프에 의한 절연층 상의 실리콘 박막 급속 열처리 ( Rapid Thermal Annealing of Silicon on Insulator ( SOI ) with a W-Halogen Lamp )

김춘근 ,  김용태 ,  민석기

전자공학회논문지

1988 .08

A Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure

梁義爀 ,  梁翔植

전기학회논문지

1994 .06

Silicon-on-insulator 구조를 갖는 실리콘 압저항 가속도계의 제작 ( Fabrication of a Silicon Piezoresistive Accelerometer with Silicon-on-insulator Structure )

양의혁 ,  양상식 ,  황성호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

1994 .01

Pt/HfSi_xO_y/Silicon 구조의 전기적 특성에 관한 연구

박전웅 ,  염민수 ,  심현상 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .11

Silicon-On-Insulator의 실온제조 ( Silicon-On-Insulator Fabricated at Room Temperature )

이종현 ,  최광돈 ,  강성원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

Silicon on Insulator 시료의 재결정화법에 의한 보호막기술 ( Characterization and Capping Technique for Zone-Melting-Recrystallization of Silicon on Insulator Films )

윤석범 ,  김춘근 ,  김현수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

SOI 구조를 이용한 실리콘 압저항 가속도계의 설계 및 제작

양의혁 ,  양상식 ,  한상우

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

SOI (Silicon-on-Insulator) 기반의 비휘발성 메모리 소자의 부분공핍 및 완전공핍 상태에서의 프로그램 효율

조성재 ,  박일한 ,  이정훈 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2008 .06

절연층상에 인을 주입시킨 실리콘 박막의 RTA 방법에 의한 재결정화

김춘근 ,  김현수 ,  김용태 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

실리콘 직접 접합을 위한 선형가열법의 개발 및 SOI 기판에의 적용

이진우 ,  강춘식 ,  송오성 외 1명

한국표면공학회지

2000 .04

SOI Structure Formation by Single-Crystal Silicon MBE on Double Layer Different Microstructure Porous Silicon System

D. W. Zheng ,  Y. P. Huang ,  T. A. Tang 외 7명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

CO2 레이저 열처리에 의한 SOI 구조에서의 다결정 실리콘의 재결정화 ( The Recrystallization of Polysilicon in SOI by CO2 Laser Annealing )

오민록 ,  안철

전자공학회논문지

1987 .11

얇은 박막 SOI(Silicon-On-Insulator) MOSFET에서의 소자 변수 추출 방법

박성계 ,  김충기

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

P-채널 strained silicon SOI MOSFET의 아날로그 특성

전용우 ,  장동일 ,  박윤지 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2008 .11

접합 SOI 웨이퍼내의 계면고찰

홍필영 ,  문동찬 ,  강성건 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

The Optimum Surface Silicon Thickness of SOI MOSFET

유종선 ,  강원구 ,  강성원

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

직접 접합에 의한 Al2O3 SOI 구조 제작

공대영 ,  이종현 ,  배영호 외 1명

센서학회지

2005 .01

의료 방사선사용에 따른 납과 텅스텐의 차폐효과 분석

장동근 ,  김규형 ,  박철우

한국방사선학회 논문지

2018 .01

압력센스를 위한 SOI구조 재결정화 공정 최적화 ( The Optimum Condition of Process in the SOI Structures Recrystallization for Pressure Sensors )

윤석범 ,  김계국

한국통신학회 전문대학 논문지

1995 .01

Silicon Thin-body를 이용한 100㎚ 이하 SOI-NMOSFET에서의 제작

양종헌 ,  백인복 ,  오지훈 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2003 .07