절연층상에 인을 주입시킨 실리콘 박막의 RTA방법에 의한 재결정화 ( Recrystallization of Phosphorus Ion Implanted Silicon on Insulator ( SDI ) by RTA Method )

김춘근 ,  김현수 ,  김용태 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

급속 열처리 ( RTA ) 에 의한 실리콘 이온주입 갈륨 비소의 활성화 특성에 관한 연구 ( A study on the activation characteristics of silicon ion implanted GaAs by RTA )

심규환 ,  편광의 ,  박형무 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

실리콘을 이온주입한 갈륨비소의 RTA에 의한 활성화 특성 ( Activation Characteristics of Si-Implanted GaAs by RTA )

심규환 ,  편광의 ,  박형무 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1987 .01

실리콘을 이온주입한 칼륨비소의 RTA에 의한 활성화 특성 ( Activation Characteristics of Si-Implanted GaAs by RTA )

심규환 ,  편광의 ,  박형무 외 1명

특정연구 결과 발표회 논문집

1987 .01

RTA에 따른 Sr_0.7Bi_2.3Nb₂O₉ 박막의 표면특성

김진사 ,  서동수 ,  신철기 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .07

RTA시스템에서의 Water의 온도 Simulation과 제어방법 ( Water Temperature Simulation and Control Algorithm in RTA System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

열산화 $Ta_{2}O_{5}$ 박막의 RTA후처리의 영향

문환성 ,  한성욱 ,  박상균 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

산화물 박막 커패시터의 RTA 처리와 유전 특성에 관한 연구

김인성 ,  이동윤 ,  조영란 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

열산화 T${a_2}{O_5}$박막에 미치는 RTA후처리의 영향

문환성 ,  이재석 ,  한성욱 외 4명

한국재료학회지

1993 .01

반응로 벽면 반사효과를 고려한 RTA 설계 ( RTA design considered reactor side wall reflex effect )

장현룡 ,  권경섭 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .11

도판트가 주입된 비정질 실리콘 박막의 재결정화에 따른 전기적 성질의 비교

이만형 ,  최덕균 ,  김정태

한국표면공학회지

1993 .06

CO2 레이저 열처리에 의한 SOI 구조에서의 다결정 실리콘의 재결정화 ( The Recrystallization of Polysilicon in SOI by CO2 Laser Annealing )

오민록 ,  안철

전자공학회논문지

1987 .11

RTA 처리에 의해 결정화된 PZT박막의 Crack 발생에 대한 연구

강희수 ,  이원종

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

RTA 공정을 이용한 Cu₂ZnSnSe₄ 광흡수층 박막 제조

신기식 ,  정국영 ,  곽지혜 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2013 .05

RTA에 적용이 가능한 붕소 확산 시뮬레이터의 제작

김재영 ,  홍신남

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

RTA에 적용이 가능한 붕소 확산 시뮬레이터의 제작 ( Design of Boron Diffusion Simulator Applicable for RTA )

김재영 ,  홍신남

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

Slip 현상을 줄이기 위한 RTA ( 고속열처리 ) 장치 설계모델링 ( RTA System Design Modeling to Reduce Slip )

장현룡 ,  한승윤 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

Slip 현상을 줄이기위한 RTA(고속열처리)장치 설계모델링

장현룡 ,  한승윤 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

RTA 시스템에서의 온도제어와 웨이퍼상의 온도분포 Simulation ( Temperature Control and Wafer Temperature Distribution Simulation in RTA System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

전자공학회논문지

1988 .06

압력센스를 위한 SOI구조 재결정화 공정 최적화 ( The Optimum Condition of Process in the SOI Structures Recrystallization for Pressure Sensors )

윤석범 ,  김계국

한국통신학회 전문대학 논문지

1995 .01