CO2 레이저 열처리에 의한 다결정 실리콘 Island의 재결정화

오민록 ,  안철

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

압력센스를 위한 SOI구조 재결정화 공정 최적화 ( The Optimum Condition of Process in the SOI Structures Recrystallization for Pressure Sensors )

윤석범 ,  김계국

한국통신학회 전문대학 논문지

1995 .01

CO2레이저 열처리에 의한 다결정 Island의 재결정화 ( CO2 Laser Assisted Recrystallization of Polysilicon Island )

오민록 ,  안철

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

SOI 기술의 연구동향

이종현

전자공학회지

1987 .08

실리콘 직접 접합을 위한 선형가열법의 개발 및 SOI 기판에의 적용

이진우 ,  강춘식 ,  송오성 외 1명

한국표면공학회지

2000 .04

수소 플라즈마를 이용한 SOI 기판 제작 및 SOI 전력용 반도체 소자 제작에 관한 연구

성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .11

APPLICATIONS OF SOI DEVICE TECHNOLOGY

Kunkul Ryoo

한국표면공학회지

1996 .10

고온 열처리에 따른 다결정 실리콘 박막의 특성

최승진 ,  황완식 ,  이인규

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성 ( Crystalline and Electrical Properties of a Thin-Film SOI )

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

SOI 구조를 이용한 실리콘 압저항 가속도계의 설계 및 제작

양의혁 ,  양상식 ,  한상우

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

CW CO₂ Laser에 의한 다결정 실리콘의 열처리

양광선 ,  박종태 ,  이문기 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

SOI 웨이퍼 제조공정의 온도해석

정경훈 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2000 .05

급속 열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성 연구 ( Effects of the Rapid Thermal Annealing on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )

김윤태 ,  유형준 ,  전치훈 외 2명

전자공학회논문지

1988 .09

열처리조건에 따른 SIMOX SOI의 특성 ( The Effects of Annealing Conditions on the Characteristics of SIMOX SOI )

배영호 ,  권영규 ,  김광일 외 3명

전자공학회논문지-A

1991 .08

SOI 소자를 위한 공정 기초연구

민석기 ,  김현수 ,  김용태 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1990 .01

Ground Plane SOI MOSFET의 단채널 현상 개선

장성준 ,  윤세레나 ,  유종근 외 3명

전자공학회논문지-SD

2004 .04

SOI MOS 소자의 제조 ( The Fabrication of SOI MOS device )

조찬섭 ,  양천순 ,  이종현

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

n-채널 SOI MOSFET의 I-V 특성연구

나준호 ,  고덕수 ,  남명희 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

n-채널 SOI MOSFET의 I-V 특성연구 ( A Study on I-V Characteristics of n-Channel SOI MOSFET )

나준호 ,  고덕수 ,  남명희 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07