디바이스 웨이퍼의 평탄화와 종점 전후의 평탄화 특성에 관한 연구 ( A Study on the Global Planarization Characteristics in End Point stage for Device Wafers )

정해도; 김호윤

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정해도 김호윤

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-D 전자공학회논문지 D편 제34권 제12호

발행연도: 1997.12

수록면: 1,046 - 1,052 (7page)

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