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CMP개론 및 현황
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[특집/I.T.S.] ITS 기술동향과 전망
오토저널
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CMP슬러리 산업동향
전자진흥
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0.5μm에 대응하는 평탄화 기술의 현황과 과제
전자공학회지
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Development of Multiple CMP Monitoring Systemfor Consumable Designs
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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