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저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 C 전기학회논문지 제53C권 제10호
발행연도
2004.10
수록면
546 - 550 (5page)

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Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결론
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[학술지(정기간행물)] - Y. S. Yoon, / 2003 / “A low voltage actuated micromirror with an extra vertical electrode 90° rotation : 922 ~ 926 google schola [학술지(정기간행물)] - J. A. Yeh, / 1999 / “Integrated polysilicon and DRIE bulk silicon micromachining for an electrostatic torsional actuator 8 (4) : 456 ~ 465 google schola [학술지(정기간행물)] - J. J. Sniegowski, / 1997 / “Multi-layer enhancement to polysilicon surface micromachining technology : 903 ~ 906 google schola [학술지(정기간행물)] - A. Yasseen, / 1995 / Diffraction grating scanners using polysilicon micro- motors : 175 ~ 180 google schola [학술지(정기간행물)] - J. M. Steigerwald, / 2003 / “Chemical mechanical planarization of microelectronics materials “ google schola

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