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대한기계학회 대한기계학회 논문집 대한기계학회 논문집 제16권 제4호
발행연도
1992.4
수록면
609 - 620 (12page)

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1992

급속 열처리시 실리콘 웨이퍼의 온도분포와 슬립 현상의 해석 ( Analysis of Temperature Distribution and Slip in Rapid Thermal Processing )
이혁 ,  유영돈 ,  엄윤용 외 2명 대한기계학회 논문집 1992.04 학술저널

1990

급속열처리시 실리콘 웨이퍼에 발생하는 슬립 현상의 해석
이혁 ,  엄윤용 대한기계학회 춘추학술대회 1990.01 학술대회자료

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웨이퍼 경박화에 따른 실리콘 칩의 미소 굽힘 거동 해석
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