고속 열처리 시스템에서 웨이퍼 상의 다중점 계측에 의한 온도 분포 추정 기법 연구

沈映兌 ,  李錫舟 ,  閔丙朝 외 2명

전기학회논문지 D

2000 .02

실시간 제어를 위한 고속 열처리 공정에서 웨이퍼 온도 분포 추정 기법

심영태 ,  이석주 ,  김학배

제어로봇시스템학회 논문지

2000 .09

고속 열처리공정 시스템에서의 웨이퍼 상의 온도분포 추정

이석주 ,  심영태 ,  고택범 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

1999 .05

급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )

유영돈 ,  신현동 ,  김문언

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

급속 열처리 시스템에서 웨이퍼의 온도 분포 예측 ( Temperature Simulation of Wafer in Rapid Thermal Processing System )

유영돈 ,  신현동 ,  김문언

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

고속 열처리 공정에서 웨이퍼 온도의 반복 학습 제어

정영석 ,  이진호 ,  진인식 외 2명

제어로봇시스템학회 합동학술대회 논문집

1999 .03

8인치 웨이퍼의 온도균일도향상을 위한 고속열처리공정기의 최적 파라미터에 설계에 관한 연구 ( A Study on the Optimal Parameter Design of Rapid Thermal Processing to Improve Wafer Temperatures Uniformity )

최성규 ,  최진영 ,  권욱현

전자공학회논문지-D

1997 .10

반도체 공정에서 웨이퍼의 온도균일도향상을 위한 고속열처리공정기의 최적 파라미터 설계

최성규 ,  최진영 ,  권욱현

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1997 .10

셀 복제점과 병합점 위치에 따른 ATM교환시스템의 다중점대 다중점 연결 경로설정 방법에 관한 연구 ( Location of Cell Replication and Merging points for the ATM Multipoint-To-Multipoint Connection )

정지훈

한국통신학회 학술대회논문집

1997 .01

셀 복제점과 병합점 위치에 따른 ATM 교환 시스템의 다중점대다중점 연결 경로 설정 방법에 관한 연구

정지훈

한국통신학회 학술대회논문집

1997 .11

반도체 웨이퍼의 스트레스 측정을 위한 공정 및 표면 검사시스템 구현

조태익 ,  오도창

전자공학회논문지-SD

2008 .08

급속 열처리시 실리콘 웨이퍼의 온도분포와 슬립 현상의 해석 ( Analysis of Temperature Distribution and Slip in Rapid Thermal Processing )

이혁 ,  유영돈 ,  엄윤용 외 2명

대한기계학회 논문집

1992 .04

Local Multipoint Distribution System

김태희 ,  장인봉

대한전자공학회 학술대회

1998 .05

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

RTA 시스템에서의 온도제어와 웨이퍼상의 온도분포 Simulation ( Temperature Control and Wafer Temperature Distribution Simulation in RTA System )

조병진 ,  김경태 ,  김충기

전자공학회논문지

1988 .06

일정한 파워 분포를 위한 고속열처리 장치의 설계

李東燁 ,  崔晉鎬

전기학회논문지

1997 .06

웨이퍼 온도 균일도를 위한 급속 열공정 (RTP)의 최적화

강새별 ,  오혁근 ,  이준식

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

웨이퍼 레벨 3D 패키징을 위한 초박막 Si 웨이퍼 공정기술

최미경 ,  김은경

대한용접·접합학회지

2008 .02

ATM/B-ISDN 통신망에서의 Multipoint-to-Multipoint 통신 기법 연구

신상헌 ,  김영탁

한국통신학회 학술대회논문집

1999 .07

ATM망에서 점 대 다중점 연결을 위한 신호 메시지에 관한 연구 ( A Study on Signalling Message for point-to-Multipoint Connection in ATM Network )

배상재 ,  김정구 ,  주언경

대한전자공학회 학술대회

1994 .11