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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1987.7
- 수록면
- 536 - 538 (3page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
1987
CO2 레이저 열처리에 의한 SOI 구조에서의 다결정 실리콘의 재결정화 ( The Recrystallization of Polysilicon in SOI by CO2 Laser Annealing )
오민록
,
안철
전자공학회논문지
1987.11
학술저널
CO2레이저 열처리에 의한 다결정 Island의 재결정화 ( CO2 Laser Assisted Recrystallization of Polysilicon Island )
오민록
,
안철
대한전자공학회 학술대회
1987.07
학술대회자료
CO2 레이저 열처리에 의한 다결정 실리콘 Island의 재결정화
오민록
,
안철
대한전기학회 학술대회 논문집
1987.07
학술대회자료
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목차
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 논의
Ⅳ. 결론
참고문헌
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CO2레이저 열처리에 의한 다결정 Island의 재결정화 ( CO2 Laser Assisted Recrystallization of Polysilicon Island )
대한전자공학회 학술대회
1987 .07
-
CO2 레이저 열처리에 의한 SOI 구조에서의 다결정 실리콘의 재결정화 ( The Recrystallization of Polysilicon in SOI by CO2 Laser Annealing )
전자공학회논문지
1987 .11
-
CW CO2 Laser에 의한 다결정 실리콘의 열처리
대한전자공학회 학술대회
1986 .06
-
고온 열처리에 따른 다결정 실리콘 박막의 특성
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
-
저온 열처리를 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
-
급속 열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성 연구 ( Effects of the Rapid Thermal Annealing on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )
전자공학회논문지
1988 .09
-
급속열처리 방식을 이용한 다결정 실리콘 소자의 향상된 전기적 특성 ( Improved Electrical Properties of Polysilicon TFT Using Rapid Thermal Processing )
전자공학회논문지
1990 .12
-
급속열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성연구 ( Effects of the Rapid Thermal Anneal on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
-
급속열처리와 엑시머 레이저에 의해 형성된 다결정 실리콘 박막에서 열처리 방법에 따른 박막의 특성변화
한국재료학회지
1997 .01
-
Obtaining parameters of dynamic recrystallization kinetics using FEM and optimization technique
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2017 .10
-
레이저를 이용한 Si 재결경화 특성평가
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2010 .11
-
다결정실리콘의 경사식각에 관한 연구 - 제1부 : 실험적 고찰 ( A Study on Taper Etching of Polysilicon - Part 1 : The Experimental Study )
전자공학회논문지
1989 .07
-
유한요소법에 의한 열간성형공정에서 강의 미세조직변화 예측
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1998 .07
-
CO2레이저에 의한 Poly-Si층의 재결정화
대한전자공학회 워크샵
1990 .01
-
다결정 실리콘 MOSFET 제작과 전류-전압 특성 ( The Fabrication of Polysilicon MOSFET and The I-V characteristics )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
-
다결정 실리콘에 제작한 TFT의 전류-전압 특성 ( The Current-Voltage Characteristics of the Polysilicon TFT )
대한전자공학회 학술대회
1990 .01
-
인코넬 690의 변형 및 재결정
한국소성가공학회 학술대회 논문집
1995 .10
-
절연막 형성 방법에 따른 다결정실리콘 캐패시터의 특성 ( Characteristics of Polysilicon Capacitor as Insulator Formation Method )
전자공학회논문지-A
1995 .07
-
열처리가 반절연성 다결정 실리콘 박막의 구조 및 전기적 특성에 미치는 영향
대한전자공학회 학술대회
1995 .01
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재결정거동을 고려한 강의 유동응력 예측
압연 심포지엄
1999 .08
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