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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년 춘계학술대회논문집
발행연도
2003.4
수록면
911 - 916 (6page)

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Mecroactuator is frequently used in some optical or electrical applications such as light modulators and spatial scanner devices. When microactuator is implemented, it should be operated at accurate positions proportional to input voltage. Therefore in order to obtain rapid responses and reduced errors, a position control technique is used. In the paper, design procedure for the mems actuator and a typical PID controller is adapted to improve performance of microactuator as well. Also electrostatic force for the torsional microactuator is calculated via well-known Hornbeck's method.

목차

Abstract

1. Introduction

2. System Analysis

3. Controller Design

4. Conclusions

Acknowledgment

Reference

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