ArF Excimer Laser Lithography

Masa ,  u Sasago

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

ArF Excimer Laser용 광학계의 Tolerancing

이각현 ,  정해빈 ,  유현준

광학세계

1994 .01

Silicon Containing Positive Resist for ArF Excimer Laser Lithography

이해원 ,  김영대 ,  강영종 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1997 .10

반도체 노광공정에 이용되는 엑시머 레이저의 기술 현황 및 시장 동향

이형권

광학세계

2002 .01

Silicon Containing Photoresists for ArF Excimer Laser Lithography

Young Dae Kim ,  Sang Jin Pa ,  k 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

The Optical System for ArF Excimer Laser Exposure Tool

정해빈 ,  이각현 ,  김도훈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Chemically Amplified Positive Resists for ArF Excimer Laser Lithography

강영종 ,  이해원 ,  김웅렬 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1997 .04

Chemically Amplified Positive Resists for ArF Excimer Laser Lithography

안성남 ,  강영종 ,  이해원 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1996 .10

Dynamics of ARF regulation that control senescence and cancer

고아람 ,  한수연 ,  송재환

BMB Reports

2016 .01

Chemically Amplified Photoresists for ArF Excimer Laser Lithography

김영대 ,  강영종 ,  이해원

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Study of Bottom Antireflective Coating Process Using a High-Transparency Resist for ArF Excimer Laser Lithography

Shinji Kishimu ,  a ,  Makoto Takahashi 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

강우 사상의 시·공간적 규모 특성을 반영한 호우중심형 ARF 산정

김은지 ,  강부식

한국수자원학회 학술발표회

2018 .01

엑시머 레이저를 이용한 마이크로 렌즈 가공 모델링 및 시뮬레이션

최경현 ,  배창현

한국생산제조학회지

2004 .02

Photochemical Deposition of Silicon and SiC Thin Film Using ArF Excimer Laser

Koichi Toyoda ,  Toshihi ,  o Taguchi

TENCON 87 - Computers and Communications Technology Toward 2000

1997 .01

Fabrication of White Light Source in Micron Size on Silicone Rubber by ArF Excimer Laser

Masayuki Okoshi ,  Minako Iyono ,  Na 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

ArF Excimer Laser를 사용한 가스센서 ZnO와 $WO_3$ 박막의 제작 및 특성 측정

강준희 ,  오철민

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

Block Copolymer Multiple patterning Integrated with Conventional 193 nm ArF Lithography

문정호 ,  박승학 ,  신동욱 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .10

ArF PR Slimming 개선에 관한 연구

최신규 ,  김영민 ,  정호형 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2011 .06