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한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.13 No.1
발행연도
2004.2
수록면
55 - 62 (8page)

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This paper addresses the method for figuring out the hole diameter on the mask containing the information about machining depth. With this mask the micro machining is carried out with a simple 2D movement of the mask Based on the suggested method excimer laser ablation processes are modeled and determination of the optimal laser ablation conditions such as hole diameter, step size, mask movement velocity, etc. is completed. The excimer laser ablation simulation for creating 3D micro lens is carried out by employing determined ablation conditions to prove verification of the method. The results from simulation illustrated the average error of l40㎚ and the relative error of 2%.
#Micro Machining(마이크로 가공) #MEMS #Excimer Laser(엑시머 레이저)

목차

Abstract
1. 서론
2. Hole Area Modulation 방법론
3. HAM기반 레이저 가공 조건
4. 마스크 패턴 디자인
5. HAM 기반 최적 레이저 가공 조건 선정
6. 마이크로 렌즈 레이저 가공 시뮬레이션
7. 결론
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