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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 저널정보
- 대한전자공학회 ICVC : International Conference on VLSI and CAD ICVC : International Conference on VLSI and CAD 제5권
- 발행연도
- 1997.1
- 수록면
- 304 - 306 (3page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
1997
A Novel X-ray Mask for Mix-and-Match of Optical and Synchrotron Radiation X-ray Lithography Applied in Sol Device Fabrication
최상수
,
전영진
,
김보우
외 6명
대한전자공학회 학술대회
1997.01
학술대회자료
Enhancement of Alignment Accuracy with a Novel X-ray Mask in Mix-and-Match of Optical and X-ray Lithography
최상수
,
전영진
,
Enzo Di Fab
외 6명
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1997.01
학술대회자료
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대한전자공학회 학술대회
1997 .01
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X-ray Lithography Technology
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
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Laser Produced Soft X-ray Source For X-ray Lithography
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
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X-Ray Lithography With High Power Laser
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
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X-Ray Lithography : Recent Progress and Future Developments
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
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X - Ray Lithography Overview and System Design Consideration
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
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Thermal Distortion of an X-Ray Mask for Synchrotron Radiation Lithography
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
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Impact of Metallization Films on Scattered-Light Alignment for X-Ray Lithography
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
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Synchrotron X-ray Lithography
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
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X-선 리소그라피 기술 ( X-ray Lithography Technology )
특정연구 결과 발표회 논문집
1988 .01
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X-선 리소그라피 기술 ( X-ray Lithography Technology )
한국통신학회 학술대회논문집
1988 .01
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New Developments in 1 : 1 Optical Lithography
대한전자공학회 워크샵
1991 .01
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Mask Contamination Induced by X-Ray Exposure
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
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Optical Lithography at Low K Factors
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
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X-ray 영상을 위한 블록 기반 대비 개선 알고리즘
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2015 .07
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방사광 X-선 머시닝 공정 및 백색광 기반 연구를 위한 포항가속기연구소 빔라인 활용 및 성능 향상
대한기계학회 춘추학술대회
2015 .11
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W-target 투과 양극형 x-ray tube의 개발
Proceedings of KIIT Conference
2007 .06
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X-ray 리소그래피 기반 비원형 노즐제작과 인공지지체용 화이버의 압출
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .10
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Graphite Sheet를 이용한 X-ray Mask 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
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Fabrication of ITO-less Sustain Electrodes for High Resolution Plasma Display Panel by X-Ray Lithographic Process
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2009 .01
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