Al thin films of high density deposited with magnetron sputtering

Ji Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung ,  Min-A Song 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

EFFECTS OF THE COPPER ADDITION ON PHYSICAL PARAMETERS OF MAGNETRON-SPUTTERED Al-1% SI-X% Cu FILMS

C. G. Ko ,  J. K. Kim ,  K. S. Cho

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Magnetron Sputtering 법을 이용한 Mo-Cu 박막의 특성

이한찬 ,  문경일 ,  이붕주 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .07

DC 및 RF 스퍼터링법으로 증착한 Cr 박막의 특성 비교

박민우 ,  이종무

한국재료학회지

2006 .01

Magnetron sputtering을 이용한 Zu-Mg 박막의 합성 및 특성에 관한 연구

라정현 ,  이창민 ,  김범석 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11

플라즈마 표면처리에 의한 폴리카보네이트의 표면에너지 및 구리박막과의 접착력 변화에 관한 연구

조병훈 ,  이원종 ,  박영호

한국재료학회지

2005 .01

Mechanical Properties of TiN Films Deposited with Magnetron Sputtering

Min-A Song ,  Ji-Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Physical properties of TiN thin films deposited by grid-assisted magnetron sputtering

Min J. Jung ,  Kyung H. Nam ,  Jeon G. Han 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2002 .05

A Study on the properties of aluminum nitride films on the Al7075 deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering

Jung-hyo Kim ,  Byung-Chul Cha ,  Keun-Hak Lee 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

마그네트론 스퍼터링에 의해 제조된 Cr_1-xAl_xN 박막의 Al 함량과 열처리에 따른 온도저항계수

문선철 ,  김상호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

Influence of Deposition Conditions on the Adhesion of Sputter-deposited MoS₂-Ti Films

Sun Kyu Kim ,  Yongliang Li

한국표면공학회지

2004 .02

R.F 마그네트론 스퍼트링으로 작성된 TiO₂박막의 NO_x 감지 특성

高羲石 ,  朴在潤 ,  朴相鉉

전기학회논문지 C

2002 .11

스퍼터 증착한 Cu/Cr/Polyimide 시스템에서의 Cu의 증착조건에 따른 접착력 거동

김동찬 ,  조철호 ,  김영호

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

Deposition of Cu-Ni films by Magnetron Co-Sputtering and Effects of Target Configurations on Film Properties

Soo-Hyung Seo ,  Chang-Kyun Pa ,  k 외 3명

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2003 .02

스퍼터링에 의한 고밀도 Al 박막 코팅과 특성 분석

양지훈 ,  정재인 ,  장승현 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

ADHESION STUDIES OF MAGNETRON-SPUTTERED COPPER FILMS ON INCONEL SUBSTRATES

G. H. LEE ,  S. C. KWON ,  S. Y. LEE

한국표면공학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

The Characteristics of Cu₂O Thin Films Deposited Using RF-Magnetron Sputtering Method with Nitrogen-Ambient

Seong Hyun Lee ,  Sun Jin Yun ,  Jung Wook Lim

[ETRI] ETRI Journal

2013 .12