평면 광 도파로 제작을 위한 실리카 막의 ICP 식각에 관한 연구 ( ICP etching of silica layers for planar waveguide fabrication )

송형승 ,  정선태 ,  김동수 외 1명

한국통신학회 기타 간행물

1997 .01

SiO₂ 식각 특성 개선을 위한 E-ICP와 ICP 식각 비교

정재성 ,  김진우 ,  라상호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1999 .11

C₄F₈/O₂ 공정기체와 E-ICP를 이용한 산화막 식각

송호영 ,  조수범 ,  이종근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

Enhanced-Inductively Coupled Plasma (E-ICP)를 이용한 Silylated photoresist 식각공정개발

박세근 ,  이종근 ,  조수범 외 3명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

실리카 광 도파로 반사 격자의 제작

신장욱 ,  박상호 ,  박윤정 외 3명

한국통신학회 기타 간행물

2004 .11

E-ICP와 ICP를 이용한 MIS(Mo/HfO₂/Si) Capacitor의 Plasma Etching Damage 연구

유한석 ,  양승국 ,  김한형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

E-ICP와 ICP를 이용한 MIS(Mo/HfO₂/Si) Capacitor의 Plasma Etching Damage 연구

유한석 ,  양승국 ,  김한형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

ICP 식각 시스템에 의한 초전도 스트립 라인의 임계 특성 분석

고석철 ,  한병성 ,  최효상 외 2명

전기전자재료학회논문지

2004 .01

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

ICP 장치를 이용한 초전도 자속 흐름 트랜지스터의 링크 제작

姜亨坤 ,  林然浩 ,  林成勳 외 3명

전기학회논문지 C

2001 .10

E-ICP에 의한 산화막 식각특성

조수범 ,  송호영 ,  박세근 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

ICP 알고리즘의 회전 오차민감도 ( Error sensitivity of rotation angle in ICP algorithm )

김철민 ,  이병욱 ,  박래홍

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Silica-Based Planar Waveguide Lasers

T. Kitagawa ,  Y. Ohmo ,  i

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

화염가수분해 증착법을 이용한 저손실 실리카 도파로 제작 ( Fabrication of Low-Loss Silica Waveguides by Flame Hydrolysis Deposition )

백수현 ,  이용태 ,  안병찬 외 4명

한국통신학회 기타 간행물

1998 .01

ICP Etching of RuO2 Thin films

이종근 ,  정형섭 ,  박세근 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Anisotropic Etching of Tungsten with ICP System

정창영 ,  송기창 ,  전영삼 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

BCl 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs 건식식각

임완태 ,  백인규 ,  정필구 외 4명

한국재료학회지

2003 .01

초미세 공정에 적합한 ICP(Inductive Coupled Plasma) 식각 알고리즘 개발 및 3차원 식각 모의실험기 개발

이영직 ,  박수현 ,  송명식 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

ICP ETCHING OF TUNGSTEN FOR X-RAY MASKS

C. Jeong ,  K. Song ,  C. Pa 외 4명

한국표면공학회지

1996 .12