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웨이퍼 가공기의 진동해석 및 실험적 검증
대한기계학회 춘추학술대회
1990 .01
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반도체용 실리콘 웨이퍼의 진동 해석 ( Vibration Analysis of a Cubic-crystalline Silicon Wafer )
대한기계학회 춘추학술대회
1994 .01
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전산유체 해석을 이용한 비접촉식 웨이퍼 핸드의 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2009 .05
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전산유체 해석을 이용한 비접촉식 웨이퍼 핸드의 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2009 .05
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안정성 향상을 위한 Wafer Polishing Machine의 지지구조 개선
한국기계가공학회지
2012 .04
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웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석
대한기계학회 논문집 B권
2018 .01
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12인치 웨이퍼 폴리싱 장치의 작동조건에 따른 진동 특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .06
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웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
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무작위 진동 기법을 이용한 기계기초의 진동해석에 관한 실험적 연구
지반(한국지반공학회지)
1986 .09
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웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 위치 오차 검출 시스템
한국멀티미디어학회 학술발표논문집
2008 .05
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웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 장착 위치 인식 시스템
멀티미디어학회논문지
2010 .03
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노치형 웨이퍼 정렬기 개발에 관한 연구
한국항행학회논문지
2009 .01
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입력성형을 통한 웨이퍼 이송장치의 잔류진동 감쇠
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2005 .11
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서포트벡터머신과 신경망을 이용한 웨이퍼 이송 핸들러 설계 검증
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2010 .11
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웨이퍼 캐리어 내부 유동 최적화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2011 .11
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반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
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웨이퍼 절단 공정에서 비젼 인식 결과에 관한 평가 기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1999 .11
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웨이퍼두께 표준 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .10
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12인치 웨이퍼 폴리싱 장비의 구조해석 및 가공 특성에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2012 .06
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