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학술대회자료
저자정보
김명식 (한양대학교 금속재료공학과) 엄대홍 (한양대학교 금속재료공학과) 박진구 (한양대학교 금속재료공학과) 류흥기 (뉴영 M.Tech.Co., LTD)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2001년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
발행연도
2001.1
수록면
70 - 70 (1page)

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2001

Filter를 사용한 재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구
김명식 ,  엄대홍 ,  박진구 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 2001.01 학술대회자료

2000

재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구
김명식 ,  김형준 ,  엄대홍 외 3명 한국재료학회 학술발표대회 2000.01 학술대회자료

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