ArF Excimer Laser Lithography

Masa ,  u Sasago

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

The Optical System for ArF Excimer Laser Exposure Tool

정해빈 ,  이각현 ,  김도훈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

ArF Excimer Laser용 광학계의 Tolerancing

이각현 ,  정해빈 ,  유현준

광학세계

1994 .01

KrF excimer laser 열처리를 이용하여 만들어진 확산 n+/p 접합에서 2차원적 불순물 분포에 관한 연구

최철종 ,  한명근 ,  이성훈 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

A Silicon Containing Resist for KrF Excimer Laser Lithography

박상진 ,  이해원

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1998 .04

Silicon Containing Positive Resist for ArF Excimer Laser Lithography

이해원 ,  김영대 ,  강영종 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1997 .10

Silicon Containing Photoresists for ArF Excimer Laser Lithography

Young Dae Kim ,  Sang Jin Pa ,  k 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

KrF 엑시머 레이저를 이용한 용융실리카의 미세 습식 식각가공

백병선 ,  이종길 ,  전병희 외 1명

소성·가공

2002 .11

방전여기 KrF 엑사이머 레이저의 증폭특성 ( A Study of Amplification for Discharge Excited KrF Excimer Laser )

김수경 ,  최부연 ,  이주희

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

Photochemical Deposition of Silicon and SiC Thin Film Using ArF Excimer Laser

Koichi Toyoda ,  Toshihi ,  o Taguchi

TENCON 87 - Computers and Communications Technology Toward 2000

1997 .01

Chemically Amplified Positive Resists for ArF Excimer Laser Lithography

안성남 ,  강영종 ,  이해원 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1996 .10

Chemically Amplified Positive Resists for ArF Excimer Laser Lithography

강영종 ,  이해원 ,  김웅렬 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1997 .04

Fabrication of White Light Source in Micron Size on Silicone Rubber by ArF Excimer Laser

Masayuki Okoshi ,  Minako Iyono ,  Na 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Silica-Based Planar Waveguide Lasers

T. Kitagawa ,  Y. Ohmo ,  i

OPTOELECTRONICS & COMMUNICATIONS CONFERENCE

1997 .01

Chemically Amplified Photoresists for ArF Excimer Laser Lithography

김영대 ,  강영종 ,  이해원

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

표면예비전리 방식을 사용한 KrF 엑사이머 레이저의 개발

박홍진 ,  이주희

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .07

전자빔 여기 KrF 레이저 특성에 관한 연구 (Ⅱ)

최부연 ,  이주희

대한전기학회 학술대회 논문집

1985 .07

ArF Excimer Laser를 사용한 가스센서 ZnO와 $WO_3$ 박막의 제작 및 특성 측정

강준희 ,  오철민

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

방전여기 KrF 엑사이머 레이저의 예비전리 영향에 관한 연구

김상욱 ,  최부연 ,  이주희

대한전기학회 학술대회 논문집

1990 .07

전자 빔 여기 KRF 레이저 특성에 관한 연구 ( 1 ) ( Characteristics of Electron Beam Excited KRF Laser ( 1 ) )

이영우 ,  이주희 ,  김웅

대한전자공학회 학술대회

1984 .01