반도체 정밀 선폭측정을 위한 심자외선 3차조화파 구조화빔의 능동 제어

원승재 ,  김정윤 ,  오윤근 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

극자외선 빔 제어를 위한 고체 매질 내 비동축 고차조화파 생성

최승만 ,  김병기 ,  김용우 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .05

에드몬드 옵틱스_극자외선(EUV) 광학

서재창

전자기술

2022 .03

반도체 검사장비용 자외선 광학계 개발동향과 L-4 임무 연계성 고찰

김학용

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2024 .06

EUV Light Sources Using Plasmonic Nanostructures

S. Han

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Synthesis and Lithography of Perfluoro-molecular Resists with High T_g under EUV Radiation

우지훈 ,  이진균

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2021 .04

휘발성 유기 화합물 저농도 측정을 위한 극자외선 광이온화 센서 제작

박광범 ,  이대성 ,  이달호 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2022 .11

극자외선 및 심자외선 리소그래피용 포토레지스트 합성을 위한연속 흐름 반응 공정 및 반응 속도론 연구

권기영 ,  이진균

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .10

산의 분포 및 농도가 EUV 리소그래피 공정의 패턴에 미치는 영향: 멀티스케일 전산 모사 연구

박호현 ,  김태겸 ,  이형우 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .08

크리스탈 고체 표면 형상 가공을 통한 조화파 생성 및 집광 연구

김현웅 ,  김용우 ,  김승우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

고차 조화 피치 제어와 능동 동체 진동 제어 시스템을 이용한 중형 기동 헬리콥터의 진동 감소 시뮬레이션

방신원 ,  김동규 ,  박재상 외 2명

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2023 .11

PAL-EUV 가속기 터널 공조 환경 정밀제어

이동영 ,  최영호 ,  목익수 외 3명

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2023 .12

고차 조화 피치 제어를 이용한 중형 헬리콥터의 진동 감소 시뮬레이션

방신원 ,  박병현 ,  박재상 외 2명

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2022 .11

High-Resolution VIA Pattern using Combination of DSA and EUV Lithography

윤세현 ,  안지훈 ,  이창현 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2023 .10

고체 내 고차조화파를 통해 생성된 극자외선 파면 특성 평가

최승만 ,  원승재 ,  김태원 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

EUV 펠리클 투과도에 따른 이미지 전사 특성 분석

우동곤 ,  김정환 ,  김정식 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

능동 비틀림 제어 로터

김도형 ,  강희정

소음·진동

2023 .07

고체 매질 기반의 다중 조화파 빔 생성 및 공간적 결합을 통한 자외선 레이저 빔의 광 출력 증폭

김정윤 ,  원승재 ,  김승우 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작

김정환 ,  홍성철 ,  조한구 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

어레이 구동빔 기반 고체매질 조화파 생성 및 공간결합을 통한 자외선 레이저 빔의 광 출력 증폭

김정윤 ,  원승재 ,  오윤근 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11