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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
626 - 626 (1page)

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극자외선은 10-120 nm 대역의 짧은 파장에서 기인한 우수한 회절한계 특성으로 인해 차세대 광원으로써 주목받아왔으나, 빔을 제어함에 있어 특수 광학 소자 및 높은 수준의 정렬 정확도를 요구하여 초정밀 가공 및 측정 분야 응용에 제약을 받아왔다. 본 연구에서는 고체 매질에서의 비동축 고차조화파 생성 원리를 응용하여 극자외선을 생성함과 동시에 그 전파 특성을 유연하게 제어하는 기술을 제안한다. 구동 레이저 펄스를 분기하여 고체 샘플내에 비동축으로 입사시키면, 표면에서 생성되는 극자외선은 구동 레이저 펄스의 위상 정합 조건에 의해 구동 레이저 빔과 분리되어 전파한다. 이때, ... 전체 초록 보기

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