반도체 정밀 선폭측정을 위한 심자외선 3차조화파 구조화빔의 능동 제어

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저자정보: 원승재 (KAIST) 김정윤 (KAIST) 오윤근 (KAIST) 김병기 (Tokyo Institute of Technology) 최승만 (KAIST) 김승우 (KAIST) 김영진 (KAIST)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2024년도 추계학술대회 논문집

이용수

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#Deep-ultraviolet #Third harmonic generation #Wavefront control #Structured beam

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