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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2025.1
- 수록면
- 29 - 35 (7page)
- DOI
- 10.5573/ieie.2025.62.1.29
이용수
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두 개의 텅스텐(W) 타겟을 장착한 듀얼 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 다양한 RF 파워에 따라 WOx 박막을 증착하였고, 제작된 박막의 물리적, 구조적, 전기적 특성들을 고찰하였다. WOx 박막 증착시 타겟의 RF 파워 증가는 스퍼터링 효과를 향상시켜 박막이 더욱 균일하고 치밀하게 성장되었다. RF 파워의 증가에 따라 조직적 밀도의 증가는 경도와 탄성계수 특성을 향상시켰고, 박막내 텅스텐 원자 비율이 증가된 텅스텐-산소 결합 비율을 증가시켰다. 또한 RF 파워 증가에 따라 향상된 스퍼터링 효과에 의해 박막의 결정성은 증가되었고, 박막 표면에서는 텅스텐 원자 비율 증가되어 표면거칠기 값이 증가되었으며, 표면의 소수 특성을 나타내는 접촉각 크기는 증가되었다. 또한 RF 파워 증가에 따라 전기적 특성인 비저항과 표면저항 값은 감소하였으며, 결과적으로 박막내 텅스텐 원자 비율 증가에 의한 텅스텐-산소 결합의 증가에 의해 박막의 금속성을 향상시킨 것으로 판단되어진다. 본 연구에서 확보되어진 WOx 박막의 표면거칠기, 접촉각 특성등의 표면특성과 향상된 경도등의 물리적 특성등은 기능성 박막으로써 WOx 막의 내구성에 기인하며, 반도체부터 전도체까지 전기적 저항값을 조절이 가능하기 때문에 WOx는 스마트윈도우 시장에서 자기세정이 가능한 패시베이션 코팅 소재로써 사용할 수 있음을 확인하였다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
REFERENCES
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