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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제29권 제5호
발행연도
2016.1
수록면
268 - 273 (6page)

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본 실험에서, 우리는 MIM(Metal-Insulator-Metal) 구조의 전류-전압 특성들을 관찰하였다. 금속 전극들 사이에 산화 절연체로서 WOx 물질을 사용하였다. Al/WOx/TiN의 구조는 양극성 저항 변화 스위칭을 보여주고 저항 변화 스위칭의 동작 방향은 음의 전압에서 set, 양의 전압에서 reset인 시계 방향이다. 높은 저항 상태에서 낮은 저항 상태로 변하는 set 과정은 –2.6 V에서 일어났다. 낮은 저항 상태에서 높은 저항 상태로 변하는 reset 과정은 2.78 V에서 일어났다. On/Off 전류비는 10이었고, 내구성 특성을 위해 5번 주기의 저항 변화 스위칭을 실행하였다. 연속전인 스위칭 주기에 따라 안정적인 Vset과 Vreset은 관찰되었다. 소자의 전기적인 수송 메커니즘은 산소 이온들의 이동을 기초로 하며 전류 전압 곡선은 양의 전압 영역에서 (옴의 법칙 → 공간 전하 제한 전류 → 옴의 법칙) 과정을 따른다.
#ReRAM #Bipolar resistive switching #Migration of oxygen ion #Trap-controlled space charge limited current

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참고문헌 (21)

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W. Y. Chang / 2008 / Appl. Phys. Lett. 92:022110 Crossref S. Seo / 2004 / Appl. Phys. Lett. 85:5655 Crossref C. Rohde / 2005 / Appl. Phys. Lett. 86:262907 Crossref H. S. P. Wong / 2012 / Institute of Electrical and Electronics Engineers 100:1951 Crossref Y. M. Kim / 2008 / J. Appl. Phys. 104:114115 Crossref

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