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저자정보
강석범 (삼성전자공과대학) 이상민 (삼성전자공과대학) 정현민 (삼성전자공과대학) 이동기 (삼성전자공과대학)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2024년도 대한전자공학회 추계학술대회 논문집
발행연도
2024.11
수록면
148 - 151 (4page)

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This study explores the impact of a Polarization Rotator Array (PRA) on enhancing the uniformity of flat-top lasers used in the Storage Node Contact (SNC) defect removal process in DRAM manufacturing. Poor laser uniformity can cause SNC short defects. We propose a method utilizing light polarization to improve uniformity. Experimental results show a 16% reduction in laser uniformity variation and a 35% decrease in SNC short defects on the wafer defect map. This confirms the PRA's effectiveness and suggests future applications in various semiconductor processes.

목차

Abstract
I. 서론
II. SNC 결함과 레이저 빔의 상관관계 분석
III. 개선 실험 및 분석
IV. 결론
참고문헌

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