Wafer Map defects patterns classification using neural networks

김희영 ,  경기룡

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2017 .04

DBSCAN 알고리즘을 이용한 in-fab 공정의 반도체 웨이퍼 Grade 판정 시스템 개발

김도연 ,  김영준 ,  이채린 외 4명

Proceedings of KIIT Conference

2024 .05

합성곱 신경망을 이용한 웨이퍼 맵 기반 불량 탐지

박재선 ,  김준홍 ,  김형석 외 2명

대한산업공학회지

2018 .08

웨이퍼 수율 향상을 위한 비전 검사 시스템

김영형 ,  박종익 ,  황영광 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2023 .11

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

웨이퍼 맵의 다중 결함 패턴 인지를 위한 벡터 표현 기반 캡슐 네트워크 구현

김미선 ,  최지환 ,  이하림

한국통신학회논문지

2023 .09

Semiconductor Wafer Defect Classification Using Support Vector Machine with Weighted Dynamic Time Warping Kernel Function

Young-Seon Jeong

Industrial Engineering & Management Systems

2017 .09

비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구

이창용 ,  지연정 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .06

데이터 전처리를 통한 웨이퍼 맵 분석 최적화

김도영 ,  고병찬 ,  김화정

한국정보과학회 학술발표논문집

2024 .06

웨이퍼 맵 패턴 분류를 위한 지도 대조학습

배영재 ,  강석호

한국정보과학회 학술발표논문집

2022 .06

다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발

이창용 ,  박송희 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .11

다중 결함 인지 손실 함수 및 머신러닝 기반 웨이퍼 결함 종류 검파 기법 연구

최지환 ,  김미선 ,  이하림

한국통신학회 학술대회논문집

2022 .06

수동 추출 특성과 합성곱 특성을 결합한 웨이퍼 맵 불량 패턴 분류

강현구 ,  강석호

한국정보과학회 학술발표논문집

2020 .07

고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술

윤석인 ,  박노창 ,  이용환

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

Wafer Map Failure Pattern Classification using Geometrical Transformation Invariant Convolutional Neural Network

Il Joo Jeong ,  Seungchul Lee

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .04

Wafer Bin Map 분류를 위한 성능 향상을 위한 데이터 증강 방법 연구

박상우 ,  유철우

한국통신학회 학술대회논문집

2022 .06

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

딥러닝을 이용한 웨이퍼 빈 맵 신규 패턴 검출

백승호 ,  이창현 ,  김성범

대한산업공학회지

2020 .06

Wafer Defect 밀도 기반 반도체 DIE 품질 예측 기법

김진탁 ,  백준걸

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2019 .11