기상화학증착법으로 성장한 알루미늄 도핑된 산화아연 박막의 전도성 향상을 위한 공정변수연구

김정삼 ,  양건우 ,  권성구

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

ALD를 이용한 ZnO 기반 박막물질의 광전소자로의 응용

이우재 ,  윤은영 ,  권정대 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

N₂ 분위기와 forming gas 분위기의 열처리가 원자층증착법으로 성장한 TiO₂ 박막의 특성변화에 미치는 효과

조영준 ,  장효식

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2018 .11

Atomic layer deposition prepared AZO buffer layer for interface modification of Cu₂O photocathodes

이학현 ,  김동수 ,  최지훈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .11

광전기화학반응 조건 중의 수소생산용 광전극의 표면상태 관찰

채상윤 ,  윤노영 ,  주오심 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2022 .10

미세구조가 제어된 전해도금 Cu₂O 광양극의 광전기화학 특성

정다솔 ,  조우현 ,  정재범 외 1명

한국표면공학회지

2020 .10

마이크로파 수열합성법을 이용한 알루미늄이 도핑된 산화아연 합성 및 그 광학적 특성

현미호 ,  강국현 ,  이동규

한국산학기술학회 논문지

2015 .02

졸-겔 방법으로 제작된 마그네슘이 도핑된 산화 아연 박막 트랜지스터의 성능

정하경 ,  마노 쿠마 ,  이동진

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

ZnO 초박막의 두께 변화에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성 변화 연구

강경문 ,  Wang Yue ,  김민재 외 2명

마이크로전자 및 패키징학회지

2019 .01

PA-ALD를 이용한 Al₂O₃ 증착 시 Plasma 노출 시간이 Al₂O₃/Si 계면 특성에 미치는 영향

민관홍 ,  최성진 ,  정명상 외 5명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .04

Thermal ALD로 증착된 몰리브덴 박막의 증착 특성

이백주 ,  천민호 ,  이규범 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2022 .06

Atomic Layer Deposition (ALD) 및 Molecular Layer Deposition (MLD) 하이브리드 공정을 활용한 Al-doped ZnO (AZO)/Alucone 다층박막의 인장거동의 평가

황성태 ,  송승학 ,  최병호

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

H2O, O3 반응기체로 원자층 증착된 Al-doped ZnO 박막의 특성

김민이 ,  장효식 ,  조영준

전기전자재료학회논문지

2015 .01

원자층 증착법을 이용한 MoOx박막의 전하선택 패시베이션 특성 향상

정민지 ,  조영준 ,  장효식

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2018 .11

광전극 소재를 중심으로 본 광전기화학적 이산화탄소 전환기술 동향 분석

박이슬 ,  최지나

에너지기후변화학회지

2016 .06

Electrical and Optical Properties of Ti-ZnO Films Grown on Glass Substrate by Atomic Layer Deposition

이우재 ,  김태현 ,  권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

인라인 스퍼터를 이용한 알루미늄 도핑된 산화아연 박막의 증착 및 특성 최적화 연구

강동원

전기학회논문지

2017 .08

투명전극 적용을 위한 초박형 Cu박막의 성능 최적화 연구

이태형 ,  최두호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발

김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

Effect of Deposition Temperature on Mechanical Properties of Freestanding ALD Al₂O₃ Thin Films

S. Lee ,  J. Koo ,  J. Kim 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05