중성빔 식각기술을 통한 EUV Resist의 손상 감소에 관한 연구

장원준 ,  김희주 ,  홍종우 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .12

Reduction of LER in EUV Lithography Assisted by Block Copolymer Self-Assembly

이창현 ,  안지훈 ,  허수미

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .10

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

물중탕을 이용한 대면적 SiNx EUV 펠리클 제작

김정환 ,  홍성철 ,  조한구 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술

양경채 ,  박성우 ,  신태호 외 1명

한국표면공학회지

2015 .12

LER Reduction in EUV Lithography using DSA of Janus-Type Bottlebrush Polymers

이창현 ,  안지훈 ,  최여진 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2023 .10

Synthesis and Lithography of Perfluoro-molecular Resists with High T_g under EUV Radiation

우지훈 ,  이진균

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2021 .04

건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구

임동민 ,  유준현 ,  이종화

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

유기 킬레이터 물질의 고밀도 플라즈마를 이용한 구리 박막의 나노미터 스케일 식각

이지수 ,  임은택 ,  차문환 외 2명

전기전자재료학회논문지

2021 .01

모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화

유승기 ,  김재경 ,  전의식

한국기계기술학회지

2015 .01

이온빔을 이용한 Black Phosphorus 식각 연구

김두산 ,  이원오 ,  박진우 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

Optimization of Etching Profile in Deep-Reactive-Ion Etching for MEMS Processes of Sensors

양정모 ,  김희연 ,  박재홍

센서학회지

2015 .01

RIE(Reactive Ion Etching) 처리된 다결정 웨이퍼의 DRE(Damage Removal Etching) 처리에 따른 패시베이션 특성 분석

김무중 ,  박성은 ,  강민구 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

이방성 에칭 첨가제 기술로 제작된 인쇄회로 열교환기의 성능 평가

김보겸 ,  류진우 ,  홍오원 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

패터닝한 구리층을 이용한 전해에칭 공정에서의 형상 변화에 관한 연구

신홍식 ,  이지승

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

Engineering of Bi-/Mono-layer Graphene Film Using Reactive Ion Etching

M. I ,  annejad ,  W. Alyalak 외 6명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

Development of apparatus for Single-sided Wet Etching and its applications in Corrugated Membrane Fabrication

김준수 ,  문원규

센서학회지

2021 .01

Hydrogen-Induced Damage During the Plasma Etching Process

윤준호 ,  이정윤 ,  유원종

NANO

2017 .01

Effect of Dual Radio Frequency Bias Power on SiO2 Sputter Etching in Inductively Coupled Plasma

장해규 ,  채희엽

NANO

2017 .01

깊은 전해에칭에서의 형상 변화 연구

신홍식 ,  박혜준

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10