지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2024.8
- 수록면
- 511 - 515 (5page)
- DOI
- 10.3795/KSME-B.2024.48.8.511
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
본 연구에서는 기판에 균일하게 부착되며 흐림 효과를 최소화하는 강자성 쉐도우 마스크의 정렬을 통한 미세 패턴 제작 방법을 제안한다. 이 방법은 강자성 쉐도우 마스크를 마스크 얼라이너와 진공 트위저를 이용해 정밀하게 정렬함으로써, 높은 분해능의 패턴 제작을 가능하게 한다. 실험을 통해 반응성 이온 식각 공정 전후의 정렬 오차가 6 ㎛ 미만으로 유지되는 것을 확인했으며, 이는 마스크 얼라이너의 정밀도에 근접하나 조금 더 큰 범위를 보임을 입증한다. 본 연구의 결과는 강자성 쉐도우 마스크가 MEMS 공정에서 포토리소그래피를 대체할 수 있는 효과적인 수단이며 마이크로 스케일 디바이스 제작에 활용될 수 있는 가능성을 보여준다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 연구 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (14)
참고문헌 신청
Elhami, N. F., Matthiesen, I., Herland, A. and Winkler, T. E., 2020, “Low-Cost PVD Shadow Masks with Submillimeter Resolution from Laser-Cut Paper,” Micromachines, Vol. 11, No. 7, Article 676.
Agarwal, P. B., Pawar, S., Reddy, S. M., Mishra, P. and Agarwal, A., 2016, “Reusable Silicon Shadow Mask with Sub-5 μm Gap for Low Cost Patterning,” Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 242, pp. 67~72.
Moradi, S., Bandari, N., Bandari, V. K., Zhu, F. and Schmidt, O. G., 2019, “A Novel Large-Scale, Multilayer, and Facilely Aligned Micropatterning Technique Based on Flexible and Reusable SU-8 Shadow Masks,” Advanced Materials Technologies, Vol. 4, No. 11, Article 1900519.
Apanius, M., Kaul, P. B. and Abramson, A. R., 2007, “Silicon Shadow Mask Fabrication for Patterned Metal Deposition with Microscale Dimensions Using a Novel Corner Compensation Scheme,” Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 140, No. 2, pp. 168~175.
Vazquez-Mena, O., Gross, L., Xie, S., Villanueva, L. G. and Brugger, J., 2015, “Resistless Nanofabrication by Stencil Lithography: A Review,” Microelectronic Engineering, Vol. 132, pp. 236~254.
Agarwal, P. B., Pawar, S., Reddy, S. M., Mishra, P. and Agarwal, A., 2016, “Reusable Silicon Shadow Mask with Sub-5 μm Gap for Low Cost Patterning,” Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 242, pp. 67~72.
Moradi, S., Bandari, N., Bandari, V. K., Zhu, F. and Schmidt, O. G., 2019, “A Novel Large-Scale, Multilayer, and Facilely Aligned Micropatterning Technique Based on Flexible and Reusable SU-8 Shadow Masks,” Advanced Materials Technologies, Vol. 4, No. 11, Article 1900519.
Apanius, M., Kaul, P. B. and Abramson, A. R., 2007, “Silicon Shadow Mask Fabrication for Patterned Metal Deposition with Microscale Dimensions Using a Novel Corner Compensation Scheme,” Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 140, No. 2, pp. 168~175.
Vazquez-Mena, O., Gross, L., Xie, S., Villanueva, L. G. and Brugger, J., 2015, “Resistless Nanofabrication by Stencil Lithography: A Review,” Microelectronic Engineering, Vol. 132, pp. 236~254.
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
나노스케일 금속 패턴 구현을 위한 단결정 실리콘 박막 쉐도우 마스크
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
-
20대의 마스크 인식유형
한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집
2022 .07
-
한국 성인여성을 대상으로 한 시판 다회 착용 마스크 패턴 비교
한국컴퓨터정보학회논문지
2022 .10
-
고종횡비 구조물의 정밀 제작을 위한 DRIE 식각 마스크
대한기계학회 논문집 B권
2018 .07
-
연속적인 3축 자기장 신호 정렬 기반의 강자성 표적 탐지 기법
한국통신학회논문지
2017 .10
-
Q방법론을 사용한 코로나19시대 한국인의 마스크 인식 유형
한국컴퓨터정보학회논문지
2022 .09
-
이미지 선명도 평가를 통한 마스크 및 비마스크 사용자 얼굴인식 연구
한국방송미디어공학회 학술발표대회 논문집
2022 .06
-
젯슨 나노를 이용한 심층 컨볼루션 신경망 기반 실시간 마스크 착용 검출기 구현
한국산학기술학회 논문지
2022 .01
-
협동 매니퓰레이터를 위한 쉐도우 공간 모델링 접근법
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2018 .05
-
영상처리를 통한 마스크 및 비마스크 사용자 인식을 위한 연구
Proceedings of KIIT Conference
2022 .12
-
고유량 정전분무의 액적 크기 측정을 위한 쉐도우그래프 기법 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .05
-
COVID-19 보호 수단인 안면 마스크 착용이 안경 착용 변수에 미치는 영향
한국안광학회지
2023 .12
-
컨볼루션 오토인코더를 이용한 마스크 착용 얼굴 이미지 생성
한국정보통신학회논문지
2022 .08
-
롤투롤 공정에서 버스트 정렬 패턴을 이용한 웹의 위치 측정 및 제어시스템
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .12
-
심층 생성 모델을 사용한 리소그래피 패턴 이미지 정렬
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
-
마스크 착용에 적응적인 얼굴인식 방법
한국정보통신학회논문지
2023 .03
-
고종횡비 구조물의 정밀 제작을 위한 DRIE 식각 마스크
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
-
푸리에 변환을 활용한 정렬마크 없는 서로 다른 형상의 마이크로 패턴 정렬 기법
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .07
-
빅데이터 LDA 토픽 모델링을 활용한 국내 코로나19 대유행 기간 마스크 관련 언론 보도 및 태도 변화 분석
한국정보통신학회논문지
2021 .05
-
얼굴인식 알고리즘의 비교 분석을 통한 마스크 착용 판단 및 활용
재활복지공학회논문지
2023 .02
이 논문과 함께 이용한 논문
Analysis of the Switching Mechanism of Hafnium Oxide Layer with Nanoporous Structure by RF Sputtering
Jongho Lim
,
Myung-Hyun Baek
,
Min-Woo Kwon
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2025
.02
다층 리지스트 및 화합물 반도체 기판 구조에서의 전자 빔 리소그래피 공정을 위한 몬테 카를로 시뮬레이션 모델 개발
손명식
Applied Science and Convergence Technology
2003
.09
최근 본 자료
댓글(0)
0