나노스케일 금속 패턴 구현을 위한 단결정 실리콘 박막 쉐도우 마스크

김태영; 이정철

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김태영 (한국과학기술원) 이정철 (한국과학기술원)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2022년 학술대회

발행연도: 2022.11

수록면: 1,009 - 1,009 (1page)

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