원판의 Wobble 오차 운동 보상을 위한 멀티프로브 오차분리기술

백상우 ,  이동혁 ,  황인오 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .11

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

레이저 와블링 공정 최적화를 통한 Al-Cu 이종접합부 미세조직 제어

윤성민 ,  유채은 ,  김용 외 1명

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

2024 .10

레이저 와블링 공정 최적화를 통한 Al-Cu 이종접합부 미세조직 제어

윤성민 ,  유채은 ,  김용 외 1명

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

2024 .10

전기차 이차전지 제조를 위한 레이저 빔 워블링 모드에 따른 용접특성 연구

윤혜슬 ,  권순일 ,  강등휘 외 1명

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

2022 .05

3세대 반도체 웨이퍼 검사장비 Probe Station 핵심 부품 구조해석

최현진 ,  정용민 ,  서영재

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .04

툴 체인지 방식 멀티 노즐 3D프린터의 설계 및 제작

석익현 ,  박종규

한국기계가공학회지

2021 .02

다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발

이창용 ,  박송희 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .11

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

구동오차 보상에 의한 정밀 표면형상 측정 기술

백상우 ,  김민규 ,  이동혁 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

라인 프로파일 측정을 위한 멀티프로브 오차분리 시스템의 영점 설치 오차 보상을 위한 정밀 캘리브레이션 기술

황인오 ,  백상우 ,  조남규

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술

윤석인 ,  박노창 ,  이용환

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

웨이퍼 수율 향상을 위한 비전 검사 시스템

김영형 ,  박종익 ,  황영광 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2023 .11

비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구

이창용 ,  지연정 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .06

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

멀티프로브 오차분리기술이 적용된 5 자유도 회전오차운동 측정 시스템 개발

백상우 ,  조남규

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

자중 변형을 보상한 300 mm 실리콘 웨이퍼의 형상 및 두께 분포 동시측정기술

박주현 ,  강주식 ,  이재용

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05