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저자정보
백상우 (한국산업기술시험원) 이동혁 (한국산업기술시험원) 황인오 (한양대학교) 최우석 (한국산업기술시험원) 조남규 (한양대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
169 - 169 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2022

멀티프로브 오차분리 기술의 적용을 위한 측정시스템의 측정불확도 분석 연구
백상우 ,  이동혁 ,  이재민 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2022.10 학술대회자료

2021

원판의 Wobble 오차 운동 보상을 위한 멀티프로브 오차분리기술
백상우 ,  이동혁 ,  황인오 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2021.11 학술대회자료

2019

정밀 라인프로파일 측정기 개발을 위한 멀티프로브 오차분리기술 기반 다자유도 선형구동오차 보상시스템 개발
백상우 ,  황인오 ,  구민석 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.05 학술대회자료

2018

정밀 선형 라인프로파일 측정기 적용을 위한 푸리에급수 기반 멀티프로브 오차분리 알고리즘 분석
백상우 ,  조남규 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.05 학술대회자료

2017

멀티프로브 오차분리기술이 적용된 5 자유도 회전오차운동 측정 시스템 개발
백상우 ,  조남규 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2017.12 학술대회자료

초록· 키워드

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근래에 들어, 대형 정밀 부품의 수요가 증가함에 따라, 웨이퍼나 광학 미러 또는 렌즈 같은 광학 평면 등과 같은 대면적 가공 표면의 고정밀 표면 평가 기술의 중요성이 높아지고 있으며, 이러한 원판(Disc)형태의 표면의 기존 평탄도 측정 방법은 회전스테이지에 원판을 마운트하고 회전시키면서 상면의 형상프로파일을 획득하여 평가한다. 이때 회전스테이지에서 발생하는 다자유도의 회전오차운동에 의해 Wobble 오차가 발생하여 측정 프로파일에 영향을 미치게 된다. Wobble 오차는 원판의 크기가 클수록 그 영향이 점차 커지게 되며 이에 따라 측정시스템의 고가화가 반드시 수반된다. 이러한 한계를 해결하기 위해, 본 연구에서는 멀티프로브 오차분리기술을 도입하여 Wobble 오차운동을 측정하기 위한 상면의 변위 센서 프로브 배치와 모델식을 적용하였으 ... 전체 초록 보기
#Error separation technique #Multi-probe method #Disc #Wobble error motion

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