메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김창규 (한국공학대학교)
저널정보
대한전자공학회 전자공학회논문지 전자공학회논문지 제60권 제6호(통권 제547호)
발행연도
2023.6
수록면
15 - 23 (9page)
DOI
10.5573/ieie.2023.60.6.15

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
정전용량 방식으로 6축 힘-토크를 모두 측정할 수 있는 MEMS 센서를 제안하였다. 기판의 표면에 수직한 전극의 조합을 이용하였으며, 고정 전극과 이동 전극이 서로 마주한 빗살 모양 전극 구조를 하고 있다. 이웃한 두 전극 사이의 거리를 다르게 설정하고 이 값의 변화를 이용하여 평면 내에서의 이동과 회전을 측정할 수 있으며, 높이가 다른 두 전극의 겹치는 면적 변화를 이용하여 평면 밖으로의 이동과 회전을 측정하도록 하였다. 서로 반대의 변화량을 갖도록 2개씩 축전기를 조합하고 차동 방식으로 신호를 처리하여 이동량과 이동 방향을 모두 측정할 수 있는 센서를 구현하였다. 이를 이용하여 크기가 작고, 소비전력이 적으며, 6축 힘-토크를 모두 측정할 수 있는 센서를 제작할 수 있으며, 반응형 로봇, 휴먼 인터페이스, 관성 측정 장치 등에 적용할 수 있을 것으로 기대된다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 본론
Ⅲ. 실험
Ⅳ. 결론
REFERENCES

참고문헌 (16)

참고문헌 신청

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2023-569-001480199