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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.8
- 수록면
- 366 - 372 (7page)
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본 논문에서는 불소가 함유된 상용 폴리이미드를 사용하여 빗살형 전극을 갖는 정전용량형 습도센서를 제작하고 특성 측정 및 분석을 수행하였다. 먼저 상용 폴리이미드의 성분 분석을 위해 실리콘 웨이퍼 상에 패턴닝을 하고 열처리 공정을 수행한 후 EDS 분석을 수행하였다. 분석 결과 탄소(C) 62.48 Wt%, 산소(O) 9.38 Wt% 그리고 불소(F) 성분이 평균 8.44 Wt% 포함되어있는 것을 알 수 있었다. IDT구조에 대한 설계값을 토대로 제작된 습도센서의 면적은 1.56☓ 1.66㎟이며, 전극의 넓이와 전극간 폭은 동일하게 각각 3㎛, 센서의 감도를 높이기 위해 전극 수를 166개, 길이를 1.294㎜로 제작하였다. 제작된 센서에 대한 기본특성 측정 결과 감도는 24 fF/%RH, 선형 특성 < ± 2.5 %RH 그리고 히스테리시스는 < ± 4%RH로 나타났으며, 주파수 특성은 10kHz, 20kHz, 50kHz, 100kHz에서 습도변화에 따른 용량값 변화를 측정한 결과 주파수가 증가할수록 동일 습도에서 용량값은 작아지는 것을 확인할 수 있었으며 10kHz와 100kHz의 습도변화에 따른 용량값 편차는 평균 0.3pF으로 측정되었다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 실험 및 결과
4. 결론
REFERENCES
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
Hamid Farahani / 2014 / Humidity Sensors Principle, Mechanism, and Fabrication Technologies : A Comprehensive Review / Sensors 2014 14:7881~7939
Cheng-Long Zhao / 2011 / A Fully Packaged CMOS Interdigital Capacitive Humidity Sensor With Polysilicon Heaters / IEEE Sensors Journal 11(11):2986~2992
Ming-qing Lij / 2017 / High-Sensitivity and Low-Hysteresis Porous MIM-Type Capacitive Humidity Sensor Using Functional Polymer Mixed with TiO2MicroParticles / Sensors 17
안태창 / 2017 / 전도성 카본 잉크를 이용한 직류 저항형 습도센서 제작 및 평가 / 센서학회지 26(6):397~401
Z. M. Rittersma / 2002 / Recent achievements in miniaturised humidity sensors-a review of transduction techniques / Sens. Actuator A-Phys 96(2):196~210
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