반도체 에칭 공정용 플라즈마 가스 제어 장치 구조 해석 Ⅱ

박상현 ,  이원석 ,  조준현 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

반도체 산업의 탄소중립, 플라즈마 기술이 답하다

강우석

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

지구온난화 가스 저감을 위한 플라즈마 공정 연구

김지훈 ,  조창현 ,  최대현

한국에너지기후변화학회 학술대회

2017 .11

플라즈마 공정에서의 열 관리

강희석 ,  이대훈 ,  변성현 외 3명

KOSCO SYMPOSIUM 논문집

2015 .05

유해가스 실시간 검출기술 연구

조남욱 ,  조원보

한국가스학회 학술대회논문집

2016 .06

맨홀 내 유해가스 모니터링 시스템

이광혁 ,  김주환 ,  김민욱 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .11

매립지 가스를 이용한 플라즈마 연소의 선행연구

조동현 ,  이대훈 ,  조성권

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .05

플라즈마 처리장치에 대한 연구

안경회 ,  박찬혁

정보 및 제어 논문집

2021 .04

휴대 단말기기와 결합 가능한 복합 유해 가스 검출 장치에 관한 연구

김종헌 ,  이찬주

한국통신학회논문지

2017 .11

폭발성 가스 처리를 위한 플라즈마 토치 향상 및 에너지 저감을 위한 반도체 화학공정개선

최희영 ,  정철진 ,  홍범의 외 1명

한국에너지기후변화학회 학술대회

2016 .05

Ensemble of Classifiers Constructed on Class-Oriented Attribute Reduction

Min Li ,  Shaobo Deng ,  Lei Wang

JIPS(Journal of Information Processing Systems)

2020 .01

고온 유해가스 측정기를 이용한 목재의 유해가스 농도에 관한 연구

전수야 ,  박종환 ,  모성주 외 2명

한국가스학회 학술대회논문집

2017 .05

반도체 Plasma 공정 소재의 분석용 TDS 개발

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

플라즈마 공정용 컨버터의 제어

권민준 ,  김태훈 ,  이우철

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

2016 .11

1kW 저온 플라즈마 전원 장치

김현우 ,  김태빈 ,  김가인 외 2명

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

2021 .11

반도체산업에서의 CFD활용과 플라즈마 해석

서지웅

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2023 .05

반도체 공정 PFCs 가스 처리를 위한 열플라즈마 스크러버 개발

황상연 ,  엄성현 ,  차우병

한국에너지기후변화학회 학술대회

2019 .11

고온 플라즈마를 이용한 반도체 공정 발생 폐가스 처리시스템 개발

황상연 ,  엄성현 ,  차우병

한국에너지기후변화학회 학술대회

2018 .11

플라즈마 가스 개질 응용을 위한 3상 아크 플라즈마 토치 시스템 특성 실험

이동현 ,  다리안 ,  박해원 외 4명

한국수소및신에너지학회논문집

2023 .02

플라즈마 산화분해-탄화물 가스화 전환에 의한 태양연료 생산

송희관 ,  김하진 ,  전영남

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2020 .08