고온 플라즈마를 이용한 반도체 공정 발생 폐가스 처리시스템 개발

황상연 ,  엄성현 ,  차우병

한국에너지기후변화학회 학술대회

2018 .11

Plasma simulation for semiconductor industry

유수영

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2023 .10

반도체 에칭 공정용 플라즈마 가스 제어 장치 구조 해석 Ⅱ

박상현 ,  이원석 ,  조준현 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

플라즈마 공정에서의 열 관리

강희석 ,  이대훈 ,  변성현 외 3명

KOSCO SYMPOSIUM 논문집

2015 .05

반도체 산업의 탄소중립, 플라즈마 기술이 답하다

강우석

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

반도체 산업에서의 CFD 및 Plasma 해석 활용

황석원

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2023 .10

Research Trend and Future Perspective of Plasma-Assisted Health Care Technology

Hae June Lee ,  Kiwon Song

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2015 .10

실시간 플라즈마공정 모니터링을 위한 Self Plasma-Optical Emission Spectroscopy 성능 향상

조경재 ,  홍상진

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

임피던스 변화를 이용한 선형 대기압 DBD 플라즈마 밀도 측정

신기원 ,  이환희 ,  권희태 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

Plasma actuation 을 위한 저 전압 plasma-on-a-chip.

박현호 ,  홍창훈 ,  김영민

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

In-Situ Detection Method of Abnormal Plasma Discharge in Plasma-Assisted Deposition Processes

Muhammad Zeeshan A ,  shad ,  홍상진

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2018 .04

유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석

주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

상부 유도 결합 플라즈마에서 챔버 길이에 따른 전기적 특성 및 플라즈마 분포

홍영훈 ,  장이랑 ,  김주호

전기학회논문지

2022 .08

Damage-Free Treatment of ITO Films using Nitrogen-Oxygen (N₂-O₂) Molecular DC Plasma

Hong Tak Kim ,  Thao Phoung Ngoc Nguyen ,  Chinho Pa 외 1명

Current Photovoltaic Research

2015 .12

Plasma-derived Mitochondrial Transplantation as an Alternative to Platelet-rich Plasma Therapy

Seong Hun KIM ,  Ik-Hyun LIM ,  Mi Jin KIM 외 3명

한국생물공학회 학술대회

2023 .04

Plasma Sheath Monitoring Sensor 데이터를 활용한 질소이온 상태예측 모형의 기계학습

정희진 ,  유진승 ,  정민중

한국정보통신학회 종합학술대회 논문집

2022 .05

플라즈마 분야 적용을 위한 펄스전원 개발 및 실험

김신 ,  최준

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

전송선로를 이용한 플라즈마 전력 전달 연구

박인용 ,  이장재 ,  김시준 외 4명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

전기 유도 플라즈마 분광 기반의 우주 탐사용 소형 화학적 센싱 모듈 개발

박상훈 ,  양준호 ,  여재익

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2021 .11

반도체 공정 PFCs 가스 처리를 위한 열플라즈마 스크러버 개발

황상연 ,  엄성현 ,  차우병

한국에너지기후변화학회 학술대회

2019 .11