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학술저널
저자정보
이상렬 (청주대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제18권 제5호
발행연도
2017.10
수록면
250 - 252 (3page)
DOI
Https://doi.org/10.4313/TEEM.2017.18.5.250

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High-performance full swing logic inverters were fabricated using amorphous 1 wt% Si doped indium-zinc-oxide (a-SIZO)thin films with different channel layer thicknesses. In the inverter configuration, the threshold voltage was adjusted by varyingthe thickness of the channel layer. The depletion mode (D-mode) device used a TFT with a channel layer thickness of 60 nmas it exhibited the most negative threshold voltage (-1.67 V). Inverters using enhancement mode (E-mode) devices werefabricated using TFTs with channel layer thicknesses of 20 or 40 nm with excellent subthreshold slope (S.S). Both the invertersexhibited high voltage gain values of 30.74 and 28.56, respectively at VDD = 15 V. It was confirmed that the voltage gain can beimproved by increasing the S.S value.

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