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저자정보
송근수 (금영이엔지) 정준수 (금영이엔지) 정동호 (청남공조) 김영규 (청남공조) 양지석 (청남공조) 김춘식 (티엔지) 박형진 (한양대학교) 이건형 (삼성디스플레이) 유경훈 (한국생산기술연구원)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2022년도 하계학술발표대회 논문집
발행연도
2022.6
수록면
1,335 - 1,338 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (15)

2023

반도체 클린룸의 다양한 피드백 제어 방식에 대한 실내온도 과도응답 및 에너지소비 평가
송근수 ,  정준수 ,  김춘식 외 3명 대한기계학회 논문집 B권 2023.05 학술저널
전기클린룸의 실내 온도 및 습도에 대한 피드백 동시제어 수치해석
송근수 ,  정준수 ,  정동호 외 4명 대한기계학회 춘추학술대회 2023.04 학술대회자료

2022

반도체 클린룸의 피드백 제어방식에 따른 실내온도 과도응답 및 에너지소비 평가
송근수 ,  정준수 ,  정동호 외 6명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2022.06 학술대회자료
반도체 클린룸의 다양한 실내온도 피드백 제어방식에 따른 과도응답 및 에너지소비 평가
송근수 ,  정준수 ,  송주섭 외 6명 대한기계학회 춘추학술대회 2022.04 학술대회자료

2021

반도체 클린룸의 실내온도 피드백 제어방식에 대한 과도 응답 및 에너지소비 평가
송근수 ,  정준수 ,  송주섭 외 6명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2021.11 학술대회자료

2011

반도체 클린룸용 외기공조시스템의 에너지소비량 분석 실험
송근수 ,  유경훈 ,  손승우 외 1명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2011.07 학술대회자료
반도체 클린룸용 증기가습 및 수분무가습 외기공조시스템의 연간 에너지소비량 분석 수치해석
송근수 ,  유경훈 ,  손승우 외 1명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2011.07 학술대회자료

2010

반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 에너지절감에 관한 수치해석
송근수 ,  김형태 ,  유경훈 외 3명 설비공학논문집 2010.10 학술저널
반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 열회수성능 수치해석
송근수 ,  김형태 ,  유경훈 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2010.06 학술대회자료
반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 열회수량 수치해석
송근수 ,  김형태 ,  유경훈 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2010.05 학술대회자료

2009

반도체 클린룸용 배기 열회수식 외기공조시스템의 에너지소비 수치해석
송근수 ,  유경훈 ,  김형태 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2009.06 학술대회자료
반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 에너지 절감 수치해석
송근수 ,  김형태 ,  유경훈 대한기계학회 춘추학술대회 2009.05 학술대회자료
반도체 클린룸용 배기 열회수식 외기공조시스템의 에너지절감에 관한 실험적 연구
송근수 ,  유경훈 ,  강신영 외 1명 설비공학논문집 2009.05 학술저널

2008

반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 에너지 소비량에 관한 실험
송근수 ,  유경훈 ,  손승우 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2008.04 학술대회자료
반도체 클린룸용 에어와셔의 암모니아 제거성능 개선 연구
송근수 ,  유경훈 ,  손승우 한국실내환경학회지 2008.01 학술저널

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This paper presents the transient responses of indoor temperature and the energy consumptions of various feedback control schemes for a typical semiconductor cleanroom. The control schemes include ON/OFF, PID, ANN and MPC controls with saturation capabilities. Control block diagrams with the platform of MATLAB/Simulink are developed for an indoor temperature control with constant humidity ratio in the cleanroom. The simulation results showed that the properly tuned PID control scheme with saturation was more energy efficient than the other schemes were. However using ANN and MPC controllers would give the faster response with comparison to PID controllers and give the zero overshoot output.
#Semiconductor cleanroom(반도체 클린룸) #Indoor temperature(실내온도) #Feedback control scheme(피드백 제어방식) #Transient response(과도 응답) #Energy consumption(에너지소비량)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구 방법
3. 결과 및 검토
4. 결론
References

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송근수 ,  정준수 ,  김춘식 외 3명 대한기계학회 논문집 B권 2023 .05
자율주행 기술 동향 및 발전 방향: AI를 중심으로
김산민 ,  김영석 ,  전형석 외 2명 한국자동차공학회논문집 2022 .10
반도체 클린룸의 다양한 실내온도 피드백 제어방식에 따른 과도응답 및 에너지소비 평가
송근수 ,  정준수 ,  송주섭 외 6명 대한기계학회 춘추학술대회 2022 .04

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