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송근수 (금영이엔지) 정준수 (금영이엔지) 정동호 (청남공조) 양지석 (청남공조) 김춘식 (티엔지) 이건형 (삼성디스플레이) 유경훈 (한국생산기술연구원)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2023년도 하계학술발표대회 논문집
발행연도
2023.6
수록면
1,218 - 1,221 (4page)

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This paper presents the transient responses of indoor temperature and relative humidity according to simultaneous PID feedback control scheme for the full electrification of a semiconductor cleanroom. MIMO(multi-input-multi-output) control block diagram based on the platform of MATLAB/Simulink is developed for the indoor temperature and humidity control in the cleanroom. The simulation results showed that the MIMO PID control scheme with saturation function was able to control the temperature and relative humidity to normally settle at the set values.
#Cleanroom electrification(클린룸 전동화) #Indoor temperature and humidity(실내 온도 및 습도) #MIMO Feedback control(다중입력다중출력 피드백 제어) #Transient response(과도 응답)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구 방법
4. 결론
References

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