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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
송근수 유경훈 (한국생산기술연구원) 김형태
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2009년도 하계학술발표대회
발행연도
2009.6
수록면
1,306 - 1,311 (6page)

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In recent semiconductor manufacturing clean rooms, in order to improve clean room air quality, air washers are used to remove airborne gaseous contaminants such as NH₃, SOx and organic gases from the outdoor air introduced into clean room. Meanwhile, there is a large amount of exhaust air from a clean room. From an energy conservation point of view, heat recovery is therefore useful for reducing the outdoor air conditioning load for a clean room. Therefore it is desirable to recover heat from the exhaust air and use it to reheat the outdoor air. In the present study, numerical analysis and experiment was conducted to simulate the amount of energy reduction of exhaust air heat recovery type air washer system. The present numerical results showed good agreement with the results of the experimental data.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 및 수치해석 방법
3. 결과 및 검토
4. 결론
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