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저자정보
박수빈 (한국생산기술연구원) 송원일 (한국생산기술연구원) 유경훈 (한국생산기술연구원) 태경응 (은성화학) 김용식 (삼우시스템) 양지석 (성지공조기술) 송덕용 (성지공조기술) 권오명 (고려대학교) 황정호 (연세대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2018년도 하계학술발표대회 논문집
발행연도
2018.6
수록면
915 - 918 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2018

일유체 노즐을 이용한 실내 수분무 가습 방식 클린룸의 에너지 절감에 관한 실험적 연구
박수빈 ,  송원일 ,  유경훈 외 6명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2018.06 학술대회자료
실내 수분무가습 방식 클린룸의 에너지절감에 관한 연구
박수빈 ,  송원일 ,  유경훈 대한기계학회 춘추학술대회 2018.04 학술대회자료

초록· 키워드

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In recent large-scale semiconductor manufacturing cleanrooms, the air conditioning energy consumption required to maintain cleanroom environment represents 40~50 % of the total power consumption in the factory. Therefore, the assessment on energy consumption in the air conditioning system of the cleanroom factory is essential for reducing the air conditioning load for the cleanroom. In particular, the energy consumption required to humidify outdoor air in the winter season is generally known to be enormous. Recently, in order to overcome the high energy consumption nature of a steam generator in a conventional steam humidification type cleanroom, a water spray humidification method with water spray nozzles is often introduced into cleanroom indoors instead of the steam generator in the outdoor air conditioning system. In the present study, a twin cleanroom experiment with an outdoor air flow of 2,300 m³/h was conducted to compare at the same time the electric power consumption structure in a steam humidification type cleanroom and an indoor water spray humidification type cleanroom with one fluid nozzles. Besides, a numerical calculation was carried out to evaluate the annual power consumption of the two types of cleanrooms. It can be concluded from the present study that the indoor water spray humidification type cleanroom is more energy-efficient than the steam humidification type cleanroom. Furthermore it was shown from the numerical results that the indoor water spray humidification type cleanroom reduced 27 % of the annual electric power consumption of the steam humidification type cleanroom.
#Semiconductor manufacturing cleanroom(반도체 클린룸) #Steam humidification(증기가습) #Indoor water spray humidification(실내 수분무가습) #Energy saving(에너지절약) #일유체 노즐(one fluid nozzle) #Twin cleanroom experiment(트윈 클린룸 실험) #Electric power consumption(소비전력량)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 조건 및 방법
3. 결과 및 검토
References

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