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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박승태 (조선대학교) 권해혁 (조선대학교) 박종락 (조선대학교)
저널정보
한국광학회 한국광학회지 한국광학회지 제33권 제6호
발행연도
2022.12
수록면
324 - 330 (7page)

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포토레지스트의 노광 및 현상 특성을 각각 결정하는 Dill 및 Mack 모델 파라미터들을 측정하였다. 먼저, 노광량을 변화시켜가며 포토레지스트 샘플을 준비하였고, 노광량에 따른 투과율 변화를 측정하였다. 이 결과를 바탕으로 Dill 모델의 A, B, C 파라미터를 결정하였는데, 특히 C 파라미터를 결정하기 위하여 Dill 모델 방정식의 완전해를 사용하였다. 또한, 노광량별로 현상 시간에 따른 포토레지스트의 두께 변화를 측정하였고, 이 결과를 사용하여 Mack 모델의 Rmin, Rmax, a, n 파라미터를 결정하였다. 모델 파라미터 Rmin, Rmax, n만을 사용하는 간략화된 Mack 모델에 대해서도 파라미터값들을 결정해 보았는데, 네 개의 파라미터를 사용하는 본래 Mack 모델의 경우와 비교했을 때 측정결과와의 오차가 다소 커짐을 알 수 있었다.
#Development #Dill model #Exposure #Mack model #Photoresist #현상 #Dill 모델 #노광 #Mack 모델 #포토레지스트

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 모델 방정식
Ⅲ. 샘플준비 및 측정결과
Ⅳ. 결론
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