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Indium tin zinc oxide (ITZO) thin films were deposited on glass and quartz substrates by RF magnetron sputtering. The substrate temperature varied from 100℃ to 400℃. The structural and optical properties of thin films were investigated by X-ray diffraction (XRD), Field Emission Scanning electron microscopy (FESEM) and UV-Visible transmission spectra. It has been found from X-ray diffraction patterns that increasing the substrate temperature, the amorphous structure changes into polycrystalline structure. The FESEM results showed that all ITZO thin films have a smooth surface. The average optical transmittance (400 - 800 nm) was 82% and 80% at all films deposited at 200℃. The band gap energy ranges 3.41 to 3.57eV and 2.81 to 3.44eV with a maximum value at 200℃ all substrates temperature.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (18)
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[학술지(정기간행물)] - 서진우 / 2013 / 고주파 마그네트론 스퍼터링법에 의해 제작된 ITZO (indium tin zinc oxide) 박막의 전기적 및 광학적 특성 / 한국정보통신학회논문지 17 (8) : 1873 ~ 1878
[학술지(정기간행물)] - Y. S. Kim / 2011 / / Appl. Surf. Scie 257 : 8134 ~
[학술지(정기간행물)] - S. H. Kwon / 2010 / / Surf. Coat. Technol 205 : 312 ~
[학술지(정기간행물)] - S. Tomai / 2013 / / Electrochem. Solid State Lett 12 : 107 ~
[학술지(정기간행물)] - M. H. Kim / 2014 / / Solid State Elec 96 : 14 ~
[학술지(정기간행물)] - Y. S. Kim / 2011 / / Appl. Surf. Scie 257 : 8134 ~
[학술지(정기간행물)] - S. H. Kwon / 2010 / / Surf. Coat. Technol 205 : 312 ~
[학술지(정기간행물)] - S. Tomai / 2013 / / Electrochem. Solid State Lett 12 : 107 ~
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