지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2022.10
- 수록면
- 159 - 159 (1page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
산화갈륨(Ga₂O₃) CMP 에서 슬러리 pH 에 따른 연마 특성 비교
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
-
CMP 연마 입자 크기가 산화갈륨 기판의 거칠기에 미치는 영향
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
-
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
-
(001) 산화갈륨 기판의 CMP 공정에서 첨가제가 연마 성능에 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
-
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
-
Ball Bearing 내륜 Waviness 에 의한 이상 진동/소음 메커니즘 분석
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2017 .04
-
Common-path Optical Interferometry for On-site Measurement of CMP Pad Surface
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
-
화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
Tribology and Lubricants
2018 .06
-
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
-
사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
-
CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
-
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
-
Table Unit 회전에 의한 CMP System 변형 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
-
구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .10
-
전해 이온화 슬러리를 이용한 CMP에서 전극 소재에 따른 마찰 특성
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .04
-
Advances in CMP Technology over the Next Decade
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
-
니켈 CMP 에서 화학첨가제의 영향에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
-
CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
-
초고압력 Head Unit 이 CMP 장비의 변형에 미치는 영향 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
-
패턴 밀도에 따른 산화막 웨이퍼의 CMP 모델링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0